PENTAX WLI 3020 表面輪廓解決方案
自動(dòng)拼接 ｜ 自動(dòng)測(cè)量
可自動(dòng)拼接測(cè)量，具有鏡頭防護(hù)保護(hù)、真空吸附臺(tái)、聲波隔振防護(hù)、干涉物鏡、水準(zhǔn)調(diào)整裝置及雙通道氣浮隔振系統(tǒng)。
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? 鏡頭防撞保護(hù)軟體 Z Stop 和硬體電子感測(cè)器雙重保障，並提供外接防撞電子信號(hào)。 ? 真空吸附臺(tái)專為半導(dǎo)體晶圓定制的真空吸附臺(tái)，確保樣品在測(cè)量過程中不受空氣擾動(dòng)的影響。 ? 聲波隔振防護(hù)儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)採用分離式設(shè)計(jì)，將有效隔離聲波振動(dòng)的傳導(dǎo)，提高精準(zhǔn)度。 ? 干涉物鏡不同倍率的鏡頭，適用於從超光滑到粗糙各種表面類型的樣品。 ? 水準(zhǔn)調(diào)整裝置傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋間距，提高 3D 影像的重建精度。 ? 雙通道氣浮隔振系統(tǒng)外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)雜訊。 |
產(chǎn)品特色
? 粗糙度測(cè)量
從 0.1nm 等級(jí)到數(shù)十 μm 等級(jí)的粗糙表面儀器均能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，支持 ISO/ASME/EUR/GB 等國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。? 圖像拼接
支援?dāng)?shù)千張區(qū)域圖像拼接，可根據(jù)需求選擇高精度模式或快速模式。? 範(fàn)本測(cè)量
支援預(yù)配置資料處理與分析流程，一鍵完成指定區(qū)域的自動(dòng)測(cè)量與分析。? 輪廓尺寸測(cè)量
支持奈米級(jí)別的階高和微米級(jí)別的平面尺寸測(cè)量，包含角度、曲率等。? 自動(dòng)化
支援以自訂間距或不規(guī)則間距範(fàn)本，以執(zhí)行多區(qū)域自動(dòng)定位測(cè)量與分析。應(yīng)用案例
? 半導(dǎo)體製造?IC 晶圓研磨 |
? 半導(dǎo)體製造?晶圓 IC 晶片 |
? 超精密加工 |
? 光學(xué)?透鏡類零件
▲光學(xué)透鏡類零，接需對(duì)曲率半徑；粗糙度及表面瑕疵等進(jìn)行測(cè)量分析。 |